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          擴(kuò)散泵的三大性能要素

          發(fā)布時間:2015年11月25日 09:31   閱讀:6394   返回   來源:澤德
            擴(kuò)散泵是一種次級泵,它需要機(jī)械泵,目前,擴(kuò)散泵是最廣泛、最主要的獲得高真空的工具之一 。作為前級泵。高真空擴(kuò)散泵主要由泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等組成。
            擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約200℃)產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級噴嘴 定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣,被抽 氣體分子沿著蒸氣流方向高速運(yùn)動,氣體分子碰到泵壁又反射回來,再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣 流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多 級壓縮,最后由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán) 工作達(dá)到抽氣目的。
            通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/span>
            1.極限真空
            如果對一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),如減少油蒸氣的返流,加分餾裝置,合理分配加熱功率, 改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì),加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴(kuò)散泵性能大大改善,極限真空可 達(dá)到更低的壓強(qiáng)。
            2.最大反壓強(qiáng)
            最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng),則擴(kuò) 散泵就不能正常工作。
            3.抽氣速率
            擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動理論來推算出來,故稱為理論抽速s理。
                  
            A:為擴(kuò)散泵噴嘴到泵壁所形成的環(huán)形面積。
            T:為被抽氣體進(jìn)擴(kuò)散泵時溫度。
            m:為氣體的分子量。
            實(shí)際上理論抽速是很難達(dá)到的,其原因除工作蒸氣流速受到限制以外,還因?yàn)槌闅鈾C(jī)的進(jìn)氣套管 與進(jìn)氣口具有流阻,同時氣體分子并不是全部都能很好地?cái)U(kuò)散入蒸氣流中。部分氣體分子與蒸氣分子 相碰撞時,可能反射回去,甚至未能被蒸氣流捕集。
            表示抽氣機(jī)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)與運(yùn)用情況的好壞,可用抽氣機(jī)的實(shí)際抽速與理論上最大抽速的比值H來反應(yīng) ,這個比值是由我國何增祿先生首先提出的,因此稱為“何氏系數(shù)”。
                
            一般好的擴(kuò)散泵的何氏系數(shù)不過是0.4左右。
           

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