油擴散泵基本構造和工作原理
發布時間：2016年02月23日 09:28 閱讀：6884
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澤德
油擴散泵是一種蒸氣流泵，它在10～10-7Pa的壓強范圍內有較大抽速，是目前生產中最常用的高真空泵，它結構簡單，使用維護都很方便，不易損壞，壽命長。
油擴散泵的電加熱器供熱，泵液即用以工作的油產生蒸氣沿中心導管上升至各層的傘形噴嘴噴出，形成一定方向的射流，當殘余氣體分子擴散到油蒸氣流中，經過碰撞就和濁蒸氣有相同的方向和速度，氣體分子即被推送壓縮，至前級泵抽空系統而排出。故每一個噴口就進行一次壓縮，各噴口處的壓強都不一樣，越往上越低。油蒸氣撞到泵的水冷壁即被冷凝成液態流到泵底。油在其中蒸發一冷凝，不斷循環。
此種泵所適用的油蒸氣壓只有幾十帕，所以要在10-1Pa壓強下才能工作，用前級泵來創造這種條件。
在上部進口處設水冷擋板，可以使上逸的油蒸氣凝結流下，以達到更低的壓強，減少油蒸氣返流到真空室內。
泵中所用的油的性質對泵的性能有很大作用，應當認真選擇擴散泵油。一般要求泵油在室溫下飽和蒸氣壓盡量低，在它的沸騰溫度下(泵內的壓強時)蒸氣壓又較高；在工作中油較穩定，不易被氧化，能長時間使用，且價格較低。
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