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          油擴散泵的使用操作規程

          發布時間:2016年02月28日 09:03   閱讀:9915   返回   來源:澤德

            油擴散泵的操作包括開泵、停泵兩個做要得動作。

            (1)油擴散泵的開泵順序

            ①接通擴散泵的冷卻水,用機械泵預抽真空,在擴散泵人口壓力低于10-1Pa后,接通擴散泵加熱電爐的電源,對擴散泵加熱。

            ②對于K-400以下的小泵,加熱45min后泵可正常工作,K-500~K-1200的大泵,需加熱45~65min后才能正常工作。因此,在使用擴散泵真空系統時,應注意安排好擴散泵的啟動時間。

            ③打開擴散泵人口閥門,泵即可正常工作。

            (2)油擴散泵的停泵順序

            ①關閉擴散泵人口高真空閥門和真空計的電源。

            ②切斷擴散泵加熱電源,機械泵繼續工作。

            ③再工作30min(小泵)到2h(大泵)以后,關閉擴散泵與機械泵之間的閥門,停止機械泵工作,并向機械泵內放人空氣(如果機械泵入口裝有電磁放氣閥,在切斷機械泵電源后,會因電氣連鎖而自動放氣)。

            ④當泵的油鍋溫度接近50~60℃后,關閉擴散泵的冷卻水。

            ⑤為加快擴散泵冷卻,可以卸下電爐,采用噴淋水的方法冷卻。現代大型擴散泵都在油鍋外壁設有急冷水管(或套),泵正常工作時不通水,切斷電源時通水急冷。

            (3)操作注意事項

            ①擴散泵內油溫較高時,不允許放人大氣,以防泵油氧化變質,影響正常工作。停泵時應保持泵內處于真空狀態。

            ②長期停泵時,水冷管(套)內的冷卻水應放盡,并用壓縮空氣吹干。

            ③機械泵停止工作同時從泵入口放氣,以免機械泵油流入擴散泵內。現代擴散泵機組都設計有電磁放氣閥,停泵時自動放氣。

            ④擴散泵正常工作后,才可以打開人口高真空閥,停泵時先關高真空閥,以減少返流泵油,避免污染被抽容器。

            ⑤應確認冷卻水暢通,泵內真空度大于1Pa時才能對擴散泵加熱。定期檢查泵油,及時加注或更換油。

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